?
三中三网站大全 30mJ/cm2的曝光速度下
  作者:admin     发表时间:2020-10-26     浏览次数: 次    

【TechWeb】10月15日消息,据国外媒体报道,已经推出了两款极紫外光刻机的阿斯麦,正在研发第三款,计划在明年年中开始出货。

阿斯麦极紫外光刻机

阿斯麦是在三季度的财报中,披露他们全新的极紫外光刻机将在明年年中开始出货的,型号为TWINSCAN NXE:3600D。

在财报中,阿斯麦表示他们已经敲定了TWINSCAN NXE:3600D的规格,其生产效率将提升18%,在30mJ/cm2的曝光速度下每小时可处理160片晶圆。

值得注意的是,在2019年的年报中,阿斯麦就曾披露他们在研发新一代的极紫外光刻机,770678香港小霸王g挂牌,但当时他们是计划在2022年年初开始出货,2024或者2025年大规模生产。三季度财报中披露在明年年中开始出货,也就意味着出货时间较原计划提前了半年。

极紫外光刻机是7nm和5nm芯片制程工艺所必不可少的设备,香港小霸王,目前全球只有阿斯麦能供应。台积电、三星这两大芯片代工商的制程工艺都已提升到了7nm和5nm,他们所需要的极紫外光刻机也全部仰仗于阿斯麦,全新的TWINSCAN NXE:3600D的首台,估计也会交由这两家代工商中的一家。

阿斯麦目前在售的两款极紫外光刻机分别是TWINSCAN NXE:3400B和TWINSCAN NXE:3400C,采用的都是波长为13.5nm的极紫外光源,30mJ/cm2的曝光速度下,前者每小时可处理125片晶圆,后者则可达到170片。





Copyright 2017-2023 http://www.fridabags.com All Rights Reserved.